Synthesis of metastable carbon-silicon-nitrogen compounds by ion implantation
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DOI：
10.1007/bf02666169
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发表时间：
1996
影响因子：
2.1
通讯作者：
C. Uslu;B. Park;D. Poker
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. Uslu;B. Park;D. Poker
