T.Mae, M.Nose, M.Zhou, T.Nagae, K.Shimamura: "The effects of Si addition on the structure and mechanical properties of ZrN thin films deposited by an. r.f. reactive sputtering method"Surface and Coatings Technology. 142-144. 954-958 (2001)
T.Mae, M.Nose, M.Zhou, T.Nagae, K.Shimamura: "The effects of Si addition on the structure and mechanical properties of ZrN thin films deposited by an. r.f. reactive sputtering method"Surface and Coatings Technology. 142-144. 954-958 (2001)
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T.Mae、M.Nose、M.Zhou、T.Nagae、K.Shimamura：“添加 Si 对通过射频反应溅射方法沉积的 ZrN 薄膜的结构和机械性能的影响”表面和涂层技术。
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