ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置の開発

ヘテロダイン型レーザ干渉計を搭載した高周波振動校正装置の開発
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外差式激光干涉仪高频振动校准装置的开发

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
服部浩一郎
服部浩一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
野里英明;穀山渉;服部浩一郎

文献摘要

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