Vacancy Color Stress Sensing with Embedded Diamond Particles on Si Micro-cantilevers
Vacancy Color Stress Sensing with Embedded Diamond Particles on Si Micro-cantilevers
复制标题
硅微悬臂梁上嵌入金刚石颗粒的空位颜色应力传感
DOI：
10.1541/ieejsmas.140.222
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发表时间：
2020
影响因子：
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通讯作者：
Ono Takahito
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toda Masaya;Shahrukh Akhtar M;Ono Takahito
