X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発
X線ミラー作製のためのビーム偏向制御用いた数値制御イオンビーム加工装置の開発
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开发用于 X 射线镜制造的使用光束偏转控制的数控离子束加工设备
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木里佳;坂上和之;遠藤彰;鷲尾方一;山田純平，松山智至，佐野泰久，山内和人
