Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress
Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress
复制标题
利用薄膜应力通过屈曲桥提升微镜的条件
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
N. de Rooij
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Sasaki;K. Hane;D. Briand;W. Noell;N. de Rooij
