Scanning maxwell stress microscope for nanometre-scale surface electrostatic imaging of thin films
Scanning maxwell stress microscope for nanometre-scale surface electrostatic imaging of thin films
复制标题
用于薄膜纳米级表面静电成像的扫描麦克斯韦应力显微镜
DOI：
10.1016/0040-6090(94)90497-9
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发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
T. Inoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yokoyama;T. Inoue
