Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching
Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching
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使用各向同性和各向异性硅蚀刻结合表面和体微加工实现微镜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
KAZUHIRO HANE
中科院分区：
文献类型：
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作者：
MINORU SASAKI;SHINYA KUMAGAI;KAZUHIRO HANE
