微細CMOSプロセスを用いたMEMS駆動用26V出力チャージポンプ回路
微細CMOSプロセスを用いたMEMS駆動用26V出力チャージポンプ回路
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采用微型 CMOS 工艺的 MEMS 驱动 26V 输出电荷泵电路
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益一哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白根篤史;伊藤浩之;石原 昇;田野井 聡;伊藤浩之;石原昇;益一哉
