Kenichi Nanbu: "Direct Simulation Monte Carlo Analysis of Flows and Etch Rate in an Inductively Coupled Plasma Reactor."IEEE Trans.Plasma Sci.. Vol.27. 1379-1388 (1999)
Kenichi Nanbu: "Direct Simulation Monte Carlo Analysis of Flows and Etch Rate in an Inductively Coupled Plasma Reactor."IEEE Trans.Plasma Sci.. Vol.27. 1379-1388 (1999)
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Kenichi Nanbu：“电感耦合等离子体反应器中流动和蚀刻速率的直接模拟蒙特卡罗分析。”IEEE Trans.Plasma Sci.. 第 27 卷。
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