保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進,: "小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討" 電気学会研究会資料, MM-97-6(マイクロマシン研究会). 31-35 (1997)
保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進,: "小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討" 電気学会研究会資料, MM-97-6(マイクロマシン研究会). 31-35 (1997)
复制标题
Makoto Hosaka、Yanping 张、Hiroshi Ueno、Yasunobu Inoue、Susumu Sugiyama,:“使用小型 SR 光束线制造高纵横比微型机械的研究”IEEJ 研究组材料,MM-97-6(微型机械研究组)。 35 (1997)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: