水素ラジカルを用いたHVPE GaN結晶成長 (2)

水素ラジカルを用いたHVPE GaN結晶成長 (2)
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使用氢自由基生长 HVPE GaN 晶体 (2)

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
神田 芽生,永吉 浩
神田 芽生,永吉 浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松井 歩;崎田 誠志郎;佐川 正人;池田 陽紀;池田 陽紀;池田 陽紀;池田 陽紀;宮岡奨一朗・木村竜士・佐川正人・河村豊・寺本尚史・池田陽紀;神田 芽生,永吉 浩

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