山形,大森,上原,森田,守安,金,井上,樋口: "微少力センサーのための石英センサチップのマイクロ加工"砥粒加工学会2000年度学術講演会論文集. D6. 353-354 (2000)
山形,大森,上原,森田,守安,金,井上,樋口: "微少力センサーのための石英センサチップのマイクロ加工"砥粒加工学会2000年度学術講演会論文集. D6. 353-354 (2000)
复制标题
Yamagata，Omori，Uehara，Morita，Moriyasu，Kin，Inoue，Higuchi：“微力传感器石英传感器芯片的微加工”磨料加工学会2000年学术会议论文集D6（2000）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
