H.Takikawa, K.Shinsako, T.Sakakibara: "TiN/Ti film formation by vacuum arc deposition with shield plate" Thin Solid Films. 316. 73-78 (1998)
H.Takikawa, K.Shinsako, T.Sakakibara: "TiN/Ti film formation by vacuum arc deposition with shield plate" Thin Solid Films. 316. 73-78 (1998)
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H.Takikawa、K.Shinsako、T.Sakakibara：“利用屏蔽板真空电弧沉积形成 TiN/Ti 薄膜”固体薄膜。
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