上野 洋, 保坂 誠, 張 延平, 田畑 修, 杉山 進: "LIGAプロセスを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'97 講演論文集. (Vol.A). 101-102 (1997)

上野 洋, 保坂 誠, 張 延平, 田畑 修, 杉山 進: "LIGAプロセスを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'97 講演論文集. (Vol.A). 101-102 (1997)
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Hiroshi Ueno、Makoto Hosaka、Yanping Zhang、Osamu Tabata、Susumu Sugiyama:“使用 LIGA 工艺制造高纵横比微型机器的研究”日本机械工程师学会机器人和机电一体化会议 97 论文集(Vol.A)。 102 (1997)

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