K. Sato: "Characterization of etching properties of single-crystal silicon for KOH and TMAH solutions"Proc. of Workshop on Physical Cemistry of Wet Chemical Etching of Silicon. 5/17-19, Holten. 6-7 (1998)
K. Sato: "Characterization of etching properties of single-crystal silicon for KOH and TMAH solutions"Proc. of Workshop on Physical Cemistry of Wet Chemical Etching of Silicon. 5/17-19, Holten. 6-7 (1998)
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K. Sato：“KOH 和 TMAH 溶液的单晶硅蚀刻特性表征”Proc。
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