Makoto KONAGAI: "Defect Evaluation of P^+-doped Si Films at Low Temp." Jpn.J.A.Phys.32. 1884-1888 (1993)
Makoto KONAGAI: "Defect Evaluation of P^+-doped Si Films at Low Temp." Jpn.J.A.Phys.32. 1884-1888 (1993)
复制标题
Makoto KONAGAI:“低温下 P^ 掺杂硅薄膜的缺陷评估”。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: