Y.Kanamori,K.Hane,H.Sai,H.Yugami: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"Applied Physics Letters. 78・2. 142-143 (2001)
Y.Kanamori,K.Hane,H.Sai,H.Yugami: "100nm period silicon antireflection structures fabricated using a porous alumina membrane mask"Applied Physics Letters. 78・2. 142-143 (2001)
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Y.Kanamori、K.Hane、H.Sai、H.Yugami:“使用多孔氧化铝膜掩模制造的 100nm 周期硅抗反射结构”应用物理快报 78・2(2001)。
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