The Effect of Substrate Roughness on the Properties of Sputtered AZO Thin Film
The Effect of Substrate Roughness on the Properties of Sputtered AZO Thin Film
复制标题
衬底粗糙度对溅射偶氮薄膜性能的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keiichi N. Ishihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kairi Hamada;Hideyuki Okumura;Takaya Ogawa;Keiichi N. Ishihara
