Boron-Carbide Barrier Layers in Scandium-Silicon Multilayers
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DOI：
10.1016/j.tsf.2004.08.153
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发表时间：
2004-12
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Jankowski;C. Saw;C. Walton;J. P. Hayes;J. Nilsen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Jankowski;C. Saw;C. Walton;J. P. Hayes;J. Nilsen
