Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices, (poster session)
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复制标题
用于制造纳米器件的超精密加工系统（海报会议）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahashi;M.;Yoshioka;H.;Shinno;H.
