ヘリウムイオン顕微鏡を用いたタングステンピラーの作製および微細ヘリウムイオンビームと基板の相互作用
ヘリウムイオン顕微鏡を用いたタングステンピラーの作製および微細ヘリウムイオンビームと基板の相互作用
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使用氦离子显微镜制备钨柱以及精细氦离子束与基底之间的相互作用
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小濱 和之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
戸高 寛;樋口 琢磨;矢生 健一;森澤 啓子;山口 史佳;池 恩變;福島 敦樹;津田 雅之;杉山 康憲;坂本 修士;坂本 修士;Kazuyuki Kohama;樋口 琢磨;Kazuyuki Kohama;戸高 寛;小濱 和之;小濱 和之
