Thin Film Materials: Stress, Defect Formation and Surface Evolution
Thin Film Materials: Stress, Defect Formation and Surface Evolution
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DOI：
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发表时间：
2004-02
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
L. Freund;S. Suresh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Freund;S. Suresh
1. 介绍与概述薄膜应力与衬底曲率各向异性和图案化薄膜中的应力分层和断裂薄膜屈曲、胀形、剥落外延体系中的位错形成位错相互作用与应变松弛表面的平衡和稳定性应力在物质运输中的作用。
1. Introduction and overview 2. Film stress and substrate curvature 3. Stress in anisotropic and patterned films 4. Delamination and fracture 5. Film buckling, bulging and peeling 6. Dislocation formation in epitaxial systems 7. Dislocation interactions and strain relaxation 8. Equilibrium and stability of surfaces 9. The role of stress in mass transport.