Magnetic Field Assisted Finishing of Silicon MEMS Micro-pore X-ray Optics

Magnetic Field Assisted Finishing of Silicon MEMS Micro-pore X-ray Optics
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硅 MEMS 微孔 X 射线光学器件的磁场辅助精加工

DOI：
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发表时间：
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期刊：
ASME J.of Manufacturing Science and Enginnering
影响因子：
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通讯作者：
et al
et al
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
R.E.Riveros;et al

文献摘要

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