M.Tanamura, H.Kida, Y.Watanabe, N.Toyama: "A NEW APPROACH OF ELEMENT SENSITVE ION BEAM ETCHING BASED ON MASS DEPENDENCE OF SPUTTERING FOR METAL OXIDES"J.Korean Phys.Soc.. (印刷中). (2003)
M.Tanamura, H.Kida, Y.Watanabe, N.Toyama: "A NEW APPROACH OF ELEMENT SENSITVE ION BEAM ETCHING BASED ON MASS DEPENDENCE OF SPUTTERING FOR METAL OXIDES"J.Korean Phys.Soc.. (印刷中). (2003)
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M.Tanamura、H.Kida、Y.Watanabe、N.Toyama:“基于金属氧化物溅射质量依赖性的元素敏感离子束蚀刻新方法”J.Korean Phys.Soc.(出版中)。 )
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