F.Tochikubo et al: "Study of the electron transport in an RF discharge in Ar and CH_4/H_2 by optical emission spectroscopy" Proc.of 6th Int.Swarm Seminar(Glen Cove). VIII.4-5 (1989)
F.Tochikubo et al: "Study of the electron transport in an RF discharge in Ar and CH_4/H_2 by optical emission spectroscopy" Proc.of 6th Int.Swarm Seminar(Glen Cove). VIII.4-5 (1989)
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F.Tochikubo 等人：“通过光学发射光谱研究 Ar 和 CH_4/H_2 中 RF 放电中的电子传输”Proc.of 6th Int.Swarm Seminar（Glen Cove）。
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