Y.Yamamura and M.Ishida: "Monte Carlo Simulation of the Thermalization of Sputtered Atoms and Reflected Atoms in Magnetron Sputtering Discharge" J.Vac.Sci.Technol. (in press).
Y.Yamamura and M.Ishida: "Monte Carlo Simulation of the Thermalization of Sputtered Atoms and Reflected Atoms in Magnetron Sputtering Discharge" J.Vac.Sci.Technol. (in press).
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Y.Yamamura 和 M.Ishida：“磁控溅射放电中溅射原子和反射原子热化的蒙特卡罗模拟”J.Vac.Sci.Technol。
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