Wei Gao, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono, Peisen S.Huang: "In situ self-calibration of two-dimensional angle probe for profile measurement of large silicon wafers"Proceedings of 2001 ASPE. 285-288 (2001)
Wei Gao, Tomohiko Yamada, Satoshi Kiyono, Peisen S.Huang: "In situ self-calibration of two-dimensional angle probe for profile measurement of large silicon wafers"Proceedings of 2001 ASPE. 285-288 (2001)
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高伟、山田智彦、清野聪、黄培森：“大硅片轮廓测量二维角度探头的原位自校准”2001年ASPE论文集。
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