金属/high-k絶縁膜構造MOSFETの閾値電圧ばらつきと金属の結晶性制御によるその低減
金属/high-k絶縁膜構造MOSFETの閾値電圧ばらつきと金属の結晶性制御によるその低減
复制标题
金属/高k绝缘膜结构MOSFET的阈值电压变化及其通过控制金属结晶度的降低
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山田啓作
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
大毛利健治;松木武雄;石川大;諸岡哲;網中敏夫;杉田義博;知京豊裕;白石賢二;奈良安雄;山田啓作
