Absorption Coefficient Measurement Advanced Method of EUV Resist by Direct-Resist Coating on a Photodiode
Absorption Coefficient Measurement Advanced Method of EUV Resist by Direct-Resist Coating on a Photodiode
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通过在光电二极管上直接涂覆光刻胶来测量 EUV 光刻胶吸收系数的先进方法
DOI：
10.2494/photopolymer.30.87
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发表时间：
2017
影响因子：
0.8
通讯作者：
and T. Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Niihara;D. Mamezaki;M. Watanabe;T. Harada;and T. Watanabe
