He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価
He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価
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He/O2混合气体中产生的O自由基与抗蚀剂的反应性评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
