Naフラックス法におけるポイントシード上GaN結合結晶の膜厚と反りの関係
Naフラックス法におけるポイントシード上GaN結合結晶の膜厚と反りの関係
复制标题
Na助熔剂法点晶种上GaN键合晶体膜厚与翘曲的关系
DOI:
--
复制
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
今西正幸
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Goto A;Egawa T;Sakon I;Oshima R;Ito K;Serizawa Y;Sekine K;Tsuda S;Goto K;Hayashi T;今西正幸