光ファイバを用いたナノCMMプローブの研究 -トラップカのFDTDシミユレーションー

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光纤纳米CMM探针研究——Trapka的FDTD模拟

DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
2003年度精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 大阪
影响因子:
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通讯作者:
中島隆介
中島隆介
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
橋本隆希;高谷裕浩;三好隆志;中島隆介

文献摘要

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