S.Iseda,K.Asami,H.Sakaue and Y.Horiike: "Digital Etching of Silicon" Digest of Papers 1990 3rd MicroProcess Conference.112-113 (1990)
S.Iseda,K.Asami,H.Sakaue and Y.Horiike: "Digital Etching of Silicon" Digest of Papers 1990 3rd MicroProcess Conference.112-113 (1990)
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S.Iseda、K.Asami、H.Sakaue 和 Y.Horiike：“硅的数字蚀刻”文摘 1990 年第 3 届微处理会议.112-113 (1990)
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