Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups
Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups
复制标题
基于带有烷氧基和金刚酯侧基的 Noria（水轮状大环）衍生物的极紫外 (EUV) 抗蚀剂材料
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hiroo Kinoshita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hiroto Kudo;Nobumitsu Niina;Tomoharu Sato;Hiroaki Oizumi;Toshiro Itani;Takuro Miura;Takeo Watanabe;Hiroo Kinoshita
