Microfabrication of cavities in polydimethylsiloxane using DRIE silicon molds
Microfabrication of cavities in polydimethylsiloxane using DRIE silicon molds
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DOI：
10.1039/b714742b
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发表时间：
2007-01-01
期刊：
影响因子：
6.1
通讯作者：
DeLouise, Lisa A.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Giang, Ut-Binh T.;Lee, Dooyoung;DeLouise, Lisa A.
我们提出了一种在PDMS中创建空洞的新方法，该方法简单，工艺范围宽，允许控制曲率半径，以形成浅凹坑或深球形空洞。
We present a novel method to create cavities in PDMS that is simple and exhibits wide process latitude allowing control over the radius of curvature to form shallow concave pits or deep spherical cavities.