Fabrication of electrostatically actuated micro optical devices using polymer-猫眼课题宝

使用聚合物制造静电驱动微型光学器件

DOI：

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发表时间：

2007

期刊：

Proc. the 54th JSAP Spring Meeting No. 30p-S-13

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

Y.Habu;T.Kato;Y.Sakata;T.Aida