複合パルスレーザー蒸着法による酸化物半導体成膜
複合パルスレーザー蒸着法による酸化物半導体成膜
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复合脉冲激光沉积法形成氧化物半导体膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上田 良夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊庭野 健造;住吉 宥哉;平松 厚之;彦田 颯人;伊藤 遥輝;リ ハンテ;上田 良夫
