Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating
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类金刚石碳涂层四甲基硅烷等离子体中带电物种时空行为的数值模拟
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akinori Oda;Satoru Kawaguchi;Kohki Satoh;Hiroyuki Kousaka and Takayuki Ohta
