電子線照射を施したp型4H-SiCエピ膜における熱処理後の過剰キャリアライフタイム
電子線照射を施したp型4H-SiCエピ膜における熱処理後の過剰キャリアライフタイム
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电子束辐照下 p 型 4H-SiC 外延膜热处理后的超载流子寿命
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大島武
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤正史;松下由憲;市村正也;畑山智亮;大島武
