In-situ reflectance monitoring in MOVPE growth of InGaAs/GaAsP superlattice on misoriented GaAs substrate
In-situ reflectance monitoring in MOVPE growth of InGaAs/GaAsP superlattice on misoriented GaAs substrate
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在错误取向的 GaAs 衬底上的 InGaAs/GaAsP 超晶格的 MOVPE 生长过程中的原位反射率监测
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Nakano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Fujii;H. Sodabanlu;Y. Wang ;K. Watanabe;M. Sugiyama;Y. Nakano
