K.Tominaga: "Preparation of AlN Films by Planar Magmnetron Sputtering System with Facing Two Targets" Vacuum. 41. 1154-1156 (1990)
K.Tominaga: "Preparation of AlN Films by Planar Magmnetron Sputtering System with Facing Two Targets" Vacuum. 41. 1154-1156 (1990)
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K.Tominaga：“通过面向两个靶材的平面磁控溅射系统制备 AlN 薄膜”真空。
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