プラズマ照射によるn型GaNの電気特性劣化のガス種依存性
プラズマ照射によるn型GaNの電気特性劣化のガス種依存性
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等离子体照射导致的 n 型 GaN 电性能劣化的气体类型依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本郷直樹,瀧本拓真,中村成志,奥村次徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Morita;M. Kaga;Y. Kuwano;K. Matsui;M. Watanabe;T. Takeuchi;S. Kamiyama;M. Iwaya;and I. Akasaki;谷村恵里香・森澤勇介・立花 慎・佐藤春実・苅山直美・東 昇・尾崎幸洋;本郷直樹,瀧本拓真,中村成志,奥村次徳
