Mold Surface Treatment for Imprint Lithography.
Mold Surface Treatment for Imprint Lithography.
复制标题
用于压印光刻的模具表面处理。
DOI：
10.2494/photopolymer.14.457
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发表时间：
2001
影响因子：
0.8
通讯作者：
M. Sasago
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hirai;S. Yoshida;A. Okamoto;Yoshio Tanaka;Masataka Endo;S. Irie;H. Nakagawa;M. Sasago
