A Simulation Study of the Temperature Sensitivity and Impact of Fabrication Tolerances on the Performance of a Geometric Anti-Spring Based MEMS Gravimeter
A Simulation Study of the Temperature Sensitivity and Impact of Fabrication Tolerances on the Performance of a Geometric Anti-Spring Based MEMS Gravimeter
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温度敏感性和制造公差对几何抗弹簧 MEMS 重力计性能影响的仿真研究
DOI：
10.1109/inertial53425.2022.9787761
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Belwanshi V
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Belwanshi V
