MEMS-Based “Multi-Tactile Scanner” with 100um Spatial Resolution of Hardness
MEMS-Based “Multi-Tactile Scanner” with 100um Spatial Resolution of Hardness
复制标题
基于 MEMS 的“多触觉扫描仪”,硬度空间分辨率为 100um
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Hidekuni Takao
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yoshihiro Nishida;Kazuki Watatani;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
Digest of Technical Papers of The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2019)
影响因子:
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作者:
Kazuki Watatani;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
通讯作者:
Hidekuni Takao
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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作者:
K. Serita;K. Okada;and M. Tonouchi;Hidekuni Takao
通讯作者:
Hidekuni Takao
DOI:
10.1109/memsys.2019.8870856
发表时间:
2019
期刊:
2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子:
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作者:
Kazuki Watatani;K. Terao;F. Shimokawa;H. Takao
通讯作者:
H. Takao