Nanotechnology for the future MEMS

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DOI：
10.1109/memsys.2003.1189672
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发表时间：
2003-04
期刊：
The Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE
影响因子：
--
通讯作者：
T. Kawai
T. Kawai
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
T. Kawai

文献摘要

被引文献

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我在这次会议上的发言主要是关于自底向上的方法，它将开辟MEMS领域的新方向。DNA纳米技术与MEMS技术的结合是一个典型的研究实例。介绍了DNA单分子成像技术及其在DNA电子器件中的应用，并讨论了DNA电子学与MEMS技术相结合的发展方向。
My talk in this conference is mainly concerned with the bottom-up method which will open a new direction in MEMS fields. As a typical example of the researches, DNA nanotechnology combined with MEMS technique will be discussed. Single molecular imaging of DNA and its application to DNA electronic devices will be presented, and the future direction of DNA electronics combined with MEMS will be discussed.