III–V micromachined devices for microsystems
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DOI：
10.1016/s0026-2692(98)00024-x
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发表时间：
1998-09
影响因子：
2.2
通讯作者：
J. Leclercq;R. Ribas;J. Karam;P. Viktorovitch
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Leclercq;R. Ribas;J. Karam;P. Viktorovitch
