Si ミリング中の雰囲気制御による電気伝導性の向上
Si ミリング中の雰囲気制御による電気伝導性の向上
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通过控制硅铣削过程中的气氛来提高导电性
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原田 駿 上岡 貞登、松本 広重、加藤 喜峰、奥山 勇治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
折田 昂優;原田 駿 上岡 貞登、松本 広重、加藤 喜峰、奥山 勇治
