「2007半導体テクノロジー大全」第4編 第4章 第5節"高誘電体/電極材料エッチング技術"
「2007半導体テクノロジー大全」第4編 第4章 第5節"高誘電体/電極材料エッチング技術"
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《2007年半导体技术百科全书》第4卷第4章第5节“高介电/电极材料蚀刻技术”
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
斧 高一;江利口浩二
